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MSD系列直流磁控濺射電源大小功率電源

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發(fā)布時間: 2020/7/23 17:08:00
 
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網  址: http://zshaoyuan89935878.cn.vooec.com
公司名稱:中山市昊源電器設備有限公司
聯 系 人:劉小姐 女士 部門經理
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MSD系列直流磁控濺射電源大小功率電源 詳細說明
  主要特點:
A 采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,
同時提高了抑制打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優(yōu)勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統(tǒng)的恒流模式,
更能保證鍍膜工藝的重復性。
C 具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續(xù)性。
D 可選擇手動控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。
E 專門為試驗型真空設備定制,相對生產型設備的直流磁控濺射電源,
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調制技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠,生產工藝嚴格完善。
該系列產品采用先進的DSP控制系統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重復性,
并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶面清洗工藝的穩(wěn)定性,又提高了靶面清洗速度;
主要參數均可大范圍連續(xù)調節(jié);
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控制。



主要用途:

直流磁控濺射用于鍍制各種金屬。

本產品網址:http://btsbem.com/cpshow_216657692/
手機版網址:http://m.vooec.com/product_216657692.html
產品名稱:MSD系列直流磁控濺射電源大小功率電源
 
·基本配置規(guī)格
  MSD系列直流磁控濺射電源
 
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